有关晶圆（wafer）承载工具的解释

今天中国微纳技术俱乐部的会员询问Wafer Cassette的解释，自己翻译为“晶圆盒”，感觉不太准确，后来在网络上找到了解释，mark一下。

1、Wafer Carrier：背面减薄前用来装Wafer的器具

2、Wafer Box：从Fab过来时装Wafer的器具，Wafer从中拿出后放入Wafer Carrier

3、Wafer Cassette：Wafer减薄后装Wafer的器具，也可以装Ring

4、Wafer Bake Cassette：我们就叫Carrier，铁制的，有孔

5、Wafer Magazine：装PCB的器具

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